濕度、純度、分解物三種功能亦可兩兩組合，以滿足不同應用場合。具體型號，功能對應如下：

技術指標

SF6濕度：
   測量范圍：露點-80～+20℃（支持ppmv等）
   露點精度：±0.4℃（當露點溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點）
   響應時間：63％[90％]  +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s] 
   分 辨 率：露點0.1℃或0.1ppm

重 復 性：±0.4℃

氣體流量：濕度測量時：0.8～0.9L/min、純度測量時：0.5～0.7L/min

電子質量流量計

樣氣流速無影響

壓力測量：0～1.0MPa

探頭保護：不銹鋼燒結過濾網

SF6純度：

范    圍： 0～100% SF6；

精度和重復性： ±0.1%，與流量無關；

響應時間：30S

SF₆分解產物：
H₂S： 0～200ppm 精度：≤±1%；
SO₂：0～100ppm精度：≤±1%；

        CO:   0～500ppm 精度：≤±1%

    HF: 0～10ppm 精度：≤±1%

    靈敏度：0.1 ppm

       重復性：≤±1%

通用部分：

工作電壓： 220VAC±10%  50Hz，交直流兩用，過充保護，

連續工作不低于5小時

儲存溫度等級： -40～+70℃

輸出接口： USB1.1規范

數據存儲：可存儲200條記錄

操作環境： 溫 度： -30～+60℃

壓    力： 0～20bar

樣氣流速： 無影響

其它配置：標準版管理軟件，含報表打印，濕度常用轉換工具包

尺    寸：132×283×308

重    量：約4.3kg